压力传感器

品牌 MKS 型号 626A11TDE

类型 电容薄膜规 测量范围 10TORR（kPa）

精度等级 1% 适用范围 镀膜玻璃，LED太阳能

1、薄膜电容式压力传感器(工作在室温)

（1）622A绝对压力传感器，满量程范围：  1～1000Torr，精度：读数值的0.15%。

（2）626A绝对压力传感器，满量程范围：0.1～1000Torr，精度：读数值的0.15%。

（3）623A绝对压力传感器(带继电器触点控制)，满量程范围：　10～1000 Torr，精度：读数值的0.15%。

（4）722A紧凑型绝对压力传感器，满量程范围：1～2500Torr，精度：读数值的0.5%。

（5）通讯口的数字绝对压力传感器，满量程范围：0.1～1000 Torr，精度：读数值的0.15%。

2、薄膜电容式压力传感器(温度控制在45℃)

（1）627B/629B绝对压力传感器，满量程范围：0.02～1000 Torr，精度：读数值的0.12%。

（2）E27B/E29B Etch专用绝对压力传感器，满量程范围：0.02 – 100 Torr，精度：读数值的0.12%。

（3）624B绝对压力传感器(带继电器触点控制)，满量程范围：1～2000 Torr，精度：读数值的0.12%。

（4）727A紧凑型绝对压力传感器，满量程范围：1～1000 Torr，精度：读数值的0.5%。

（5）627C/E27带以太网通讯口的绝对压力传感器/ Etch专用绝对压力传感器，满量程范围：0.1～1000 Torr，精度：读数值的0.12%。

（6）通讯口的数字绝对压力传感器，满量程范围：0.1～1000 Torr，精度：读数值的0.12%。

（7）D27B/D24B双量程绝对压力传感器/绝对压力传感器(带继电器触点控制)，满量程范围：1～1000 Torr，精度：读数值的0.12%。

3、薄膜电容式压力传感器(温度控制在100℃)

（1）628B/629B绝对压力传感器，满量程范围：0.02～1000 Torr，精度：读数值的0.25%。

（2）E28B/E29B Etch专用绝对压力传感器，满量程范围：0.02～100 Torr，精度：读数值的0.25%。

（3）625B绝对压力传感器(带继电器触点控制)，满量程范围：1～2000 Torr，精度：读数值的0.25%。

（4）728A紧凑型绝对压力传感器，满量程范围：1～1000 Torr，精度：读数值的0.5%。

（5）628C/E28C 带以太网通讯口的绝对压力传感器/ Etch专用绝对压力传感器，满量程范围：0.1～1000 Torr，精度：读数值的0.25%。

（6）通讯口的数字绝对压力传感器，满量程范围：0.1～1000 Torr，精度：读数值的0.25%。

3、薄膜电容式压力传感器（温度控制在80℃）

D28B/D25B双量程绝对压力传感器/绝对压力传感器(带继电器触点控制)，满量程范围：1～1000 Torr，精度：读数值的0.25%。

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